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1. Guimarães, Marcelo Silva. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.

Degree: Mestrado, Engenharia Mecânica, 2002, University of São Paulo

Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem.

An important factor to develop microsystems is knowledge of materials properties and failure mechanisms. This research studies the thermal actuated microbeam mechanical behavior and propose a method in order to characterize thermomechanical properties of thin films. Silicon Oxynitride microbeams are fabricated and Nomarski microscopy was applied to observe strain and buckling phenomenon ocurrence.

Advisors/Committee Members: Sinatora, Amilton.

Subjects/Keywords: buckling; filmes finos; flambagem; mechanical properties; MEMS; microelectromechanical systems; microscopia nomarski; microssistemas; nomarski microscopy; propriedades mecânicas propriedades térmicas; thermophysical properties; thin films

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APA (6th Edition):

Guimarães, M. S. (2002). Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. (Masters Thesis). University of São Paulo. Retrieved from http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ ;

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Guimarães, Marcelo Silva. “Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.” 2002. Masters Thesis, University of São Paulo. Accessed October 16, 2019. http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ ;.

MLA Handbook (7th Edition):

Guimarães, Marcelo Silva. “Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.” 2002. Web. 16 Oct 2019.

Vancouver:

Guimarães MS. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. [Internet] [Masters thesis]. University of São Paulo; 2002. [cited 2019 Oct 16]. Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ ;.

Council of Science Editors:

Guimarães MS. Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. [Masters Thesis]. University of São Paulo; 2002. Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ ;

2. Voiry, Matthieu. Étude et conception d'un système automatisé de contrôle d'aspect des pièces optiques basé sur des techniques connexionnistes : Investigation and design of an automatic system for optical devices' defects detection and diagnosis based on connexionist approach.

Degree: Docteur es, Génie informatique, automatique et traitement du signal, 2008, Université Paris-Est

Dans différents domaines industriels, la problématique du diagnostic prend une place importante. Ainsi, le contrôle d’aspect des composants optiques est une étape incontournable pour garantir leurs performances opérationnelles. La méthode conventionnelle de contrôle par un opérateur humain souffre de limitations importantes qui deviennent insurmontables pour certaines optiques hautes performances. Dans ce contexte, cette thèse traite de la conception d’un système automatique capable d’assurer le contrôle d’aspect. Premièrement, une étude des capteurs pouvant être mis en oeuvre par ce système est menée. Afin de satisfaire à des contraintes de temps de contrôle, la solution proposée utilise deux capteurs travaillant à des échelles différentes. Un de ces capteurs est basé sur la microscopie Nomarski ; nous présentons ce capteur ainsi qu’un ensemble de méthodes de traitement de l’image qui permettent, à partir des données fournies par celui-ci, de détecter les défauts et de déterminer la rugosité, de manière robuste et répétable. L’élaboration d’un prototype opérationnel, capable de contrôler des pièces optiques de taille limitée valide ces différentes techniques. Par ailleurs, le diagnostic des composants optiques nécessite une phase de classification. En effet, si les défauts permanents sont détectés, il en est de même pour de nombreux « faux » défauts (poussières, traces de nettoyage. . . ). Ce problème complexe est traité par un réseau de neurones artificiels de type MLP tirant partie d’une description invariante des défauts. Cette description, issue de la transformée de Fourier-Mellin est d’une dimension élevée qui peut poser des problèmes liés au « fléau de la dimension ». Afin de limiter ces effets néfastes, différentes techniques de réduction de dimension (Self Organizing Map, Curvilinear Component Analysis et Curvilinear Distance Analysis) sont étudiées. On montre d’une part que les techniques CCA et CDA sont plus performantes que SOM en termes de qualité de projection, et d’autre part qu’elles permettent d’utiliser des classifieurs de taille plus modeste, à performances égales. Enfin, un réseau de neurones modulaire utilisant des modèles locaux est proposé. Nous développons une nouvelle approche de décomposition des problèmes de classification, fondée sur le concept de dimension intrinsèque. Les groupes de données de dimensionnalité homogène obtenus ont un sens physique et permettent de réduire considérablement la phase d’apprentissage du classifieur tout en améliorant ses performances en généralisation

In various industrial fields, the problem of diagnosis is of great interest. For example, the check of surface imperfections on an optical device is necessary to guarantee its operational performances. The conventional control method, based on human expert visual inspection, suffers from limitations, which become critical for some high-performances components. In this context, this thesis deals with the design of an automatic system, able to carry out the diagnosis of appearance flaws. To fulfil the time…

Advisors/Committee Members: Madani, Kurosh (thesis director).

Subjects/Keywords: Composants optiques; Contrôle d’aspect; Capteurs sans contact; Microscopie Normaski; Réseaux de neurones MLP; Réduction de dimension; Classification modulaire; Optical components; Surface flaws diagnosis; Contactless sensors; Nomarski Microscopy; MLP Artificial Neural Network; Dimensionality reduction; Modular classification

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APA (6th Edition):

Voiry, M. (2008). Étude et conception d'un système automatisé de contrôle d'aspect des pièces optiques basé sur des techniques connexionnistes : Investigation and design of an automatic system for optical devices' defects detection and diagnosis based on connexionist approach. (Doctoral Dissertation). Université Paris-Est. Retrieved from http://www.theses.fr/2008PEST0077

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Voiry, Matthieu. “Étude et conception d'un système automatisé de contrôle d'aspect des pièces optiques basé sur des techniques connexionnistes : Investigation and design of an automatic system for optical devices' defects detection and diagnosis based on connexionist approach.” 2008. Doctoral Dissertation, Université Paris-Est. Accessed October 16, 2019. http://www.theses.fr/2008PEST0077.

MLA Handbook (7th Edition):

Voiry, Matthieu. “Étude et conception d'un système automatisé de contrôle d'aspect des pièces optiques basé sur des techniques connexionnistes : Investigation and design of an automatic system for optical devices' defects detection and diagnosis based on connexionist approach.” 2008. Web. 16 Oct 2019.

Vancouver:

Voiry M. Étude et conception d'un système automatisé de contrôle d'aspect des pièces optiques basé sur des techniques connexionnistes : Investigation and design of an automatic system for optical devices' defects detection and diagnosis based on connexionist approach. [Internet] [Doctoral dissertation]. Université Paris-Est; 2008. [cited 2019 Oct 16]. Available from: http://www.theses.fr/2008PEST0077.

Council of Science Editors:

Voiry M. Étude et conception d'un système automatisé de contrôle d'aspect des pièces optiques basé sur des techniques connexionnistes : Investigation and design of an automatic system for optical devices' defects detection and diagnosis based on connexionist approach. [Doctoral Dissertation]. Université Paris-Est; 2008. Available from: http://www.theses.fr/2008PEST0077

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