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Ruhr Universität Bochum

1. Liu, Tao. High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses.

Degree: 2009, Ruhr Universität Bochum

Aufgrund seiner extremen physikalischen und mechanischen Eigenschaften ist Diamant eines der wichtigsten Funktionsmaterialien für Schichtanwendungen. Viele der Eigenschaften hängen dabei von der kristallographischen Vorzugsorientierung ab. Vier Gruppen von Diamantfilmen wurden durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) unter Variation der Substrattemperatur, Methankonzentration, Schichtstärke und Stickstoffzugabe hergestellt und mittels hochaufgelöster Orientierungsmikroskopie (HR-EBSD) und 3D-EBSD charakterisiert. Basierend auf der sp3-Hybridisierung der CH4-Bindungen werden Modelle für Wachstum und Zwillingsbildung vorgestellt. Die Entwicklung der Mikrotextur in der Keimbildungszone wurde in weiteren drei Gruppen von Schichten untersucht, die bei unterschiedlichen Methankonzentrationen, Substratmaterialien und Schichtdicken abgeschieden wurden. Die Makro-Eigenspannungen der drei Schichtgruppen wurden röntgendiffraktometrisch mit der 2ψ Methode bestimmt. Advisors/Committee Members: Maschinenbau.

Subjects/Keywords: Diamant; CVD-Verfahren; Wachstumsprozess; Texturanalyse; Eigenspannung

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APA (6th Edition):

Liu, T. (2009). High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses. (Thesis). Ruhr Universität Bochum. Retrieved from http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=urn:nbn:de:hbz:294-25177

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Chicago Manual of Style (16th Edition):

Liu, Tao. “High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses.” 2009. Thesis, Ruhr Universität Bochum. Accessed November 13, 2019. http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=urn:nbn:de:hbz:294-25177.

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MLA Handbook (7th Edition):

Liu, Tao. “High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses.” 2009. Web. 13 Nov 2019.

Vancouver:

Liu T. High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses. [Internet] [Thesis]. Ruhr Universität Bochum; 2009. [cited 2019 Nov 13]. Available from: http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=urn:nbn:de:hbz:294-25177.

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Council of Science Editors:

Liu T. High resolution investigation of texture formation process in diamond films and the related macro-stresses. [Thesis]. Ruhr Universität Bochum; 2009. Available from: http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn=urn:nbn:de:hbz:294-25177

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Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

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