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1. Durand, Aurèle. Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm : Characterization and industrial control of local stress in microelectronics : applications to advanced transistors technology of 20 nm.

Degree: Docteur es, Physique appliquée, 2016, Grenoble Alpes

De nombreuses techniques de caractérisation sont utilisées dans les industries de la microélectronique dans le but d’inspecter et analyser les circuits. Actuellement, la réduction des dimensions des transistors, l’implémentation d’alliage de silicium-germanium (SiGe) et l’ingénierie des déformations, nécessitent de développer une métrologie innovante des champs de déformations induits par les procédés de fabrication. Ces techniques non-destructives et rapides de caractérisation des déformations doivent être aussi capables d’analyser des nanostructures directement en ligne de production. Dans ce contexte, nous avons évalué les performances de la diffraction de rayons-X haute résolution (HRXRD) et de la spectroscopie Raman à mesurer des déformations, et nous avons proposé une méthodologie adaptée aux exigences de la métrologie.Les équipements industriels de HRXRD développés pour la métrologie, sont aptes à mesurer la déformation de couches nanométriques de SiGe, avec une grande sensibilité (< 10-4). Néanmoins, pour des structures complexes comme les transistors planaires, la complexité du champ de déformation requière la mesure et l’analyse approfondie de cartographies de l’espace réciproque (RSM). Nous avons alors montré l’intérêt et les performances des RSM pour la caractérisation des déformations dans des réseaux de transistors pMOS. Pour ce faire, une méthode inverse a été développée, consistant à simuler des RSM à partir d’une modélisation mécanique des champs de déformation. Différents modèles ont été explorés et un très bon accord entre les RSM mesurées et simulées est établi. Le champ des déformations extrait par cette méthode est corrélé avec succès à celui mesuré par la technique d’holographie électronique en champ sombre, démontrant ainsi l’analyse fine des champs des déformations de pMOS par HRXRD.La spectroscopie µ-Raman a aussi été identifiée comme étant une candidate prometteuse pour l’industrie, du fait de sa résolution spatiale sub-micrométrique et d’une grande sensibilité sur des structures nanométriques. Elle permet de déterminer de manière simultanée l’état de déformation et la composition moyenne d’un film de SiGe de quelques nanomètres d’épaisseur. Ainsi, la spectroscopie µ-Raman a alors permis de révéler que le procédé de condensation, critique pour la création du canal en SiGe contraint des transistors de technologie avancée, induit une inhomogénéité de composition en germanium dans le film de SiGe. Enfin, la résolution spatiale de la spectroscopie µ-Raman et de la spectroscopie Raman exaltée par effet de pointe (TERS) a été déterminée par comparaison de mesures avec des simulations. Ces résultats montrent les évolutions attendues pour répondre aux exigences de l’industrie de la microélectronique.Finalement, une méthodologie industrielle d’HRXRD permettant de suivre en ligne l’évolution du champ de déformation pendant les procédés de fabrication est développée. La méthode principale utilise une librairie de RSM simulées pour toute une série de structures avec des géométries, des compositions en… Advisors/Committee Members: Gergaud, Patrice (thesis director), Ossikovski, Razvigor (thesis director).

Subjects/Keywords: Contraintes; Locale; Caractérisation; Microélectronique; Transistor; 14 nm; Strain; Local; Characterization; Microelectronics; Transistors; 14 nm; 530

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APA (6th Edition):

Durand, A. (2016). Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm : Characterization and industrial control of local stress in microelectronics : applications to advanced transistors technology of 20 nm. (Doctoral Dissertation). Grenoble Alpes. Retrieved from http://www.theses.fr/2016GREAY081

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Durand, Aurèle. “Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm : Characterization and industrial control of local stress in microelectronics : applications to advanced transistors technology of 20 nm.” 2016. Doctoral Dissertation, Grenoble Alpes. Accessed October 20, 2019. http://www.theses.fr/2016GREAY081.

MLA Handbook (7th Edition):

Durand, Aurèle. “Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm : Characterization and industrial control of local stress in microelectronics : applications to advanced transistors technology of 20 nm.” 2016. Web. 20 Oct 2019.

Vancouver:

Durand A. Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm : Characterization and industrial control of local stress in microelectronics : applications to advanced transistors technology of 20 nm. [Internet] [Doctoral dissertation]. Grenoble Alpes; 2016. [cited 2019 Oct 20]. Available from: http://www.theses.fr/2016GREAY081.

Council of Science Editors:

Durand A. Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm : Characterization and industrial control of local stress in microelectronics : applications to advanced transistors technology of 20 nm. [Doctoral Dissertation]. Grenoble Alpes; 2016. Available from: http://www.theses.fr/2016GREAY081

2. Silbermann, Gwennaelle. Effets de la température et de l'irradiation sur le comportement du 14C et de son précurseur 14N dans le graphite nucléaire. Étude de la décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau : Temperature and irradiation effects on the behaviour of 14C and its precursor 14N in nuclear graphite. Study of a decontamination process using steam reforming.

Degree: Docteur es, Physico-chimie des matériaux, 2013, Université Claude Bernard – Lyon I

Le démantèlement des réacteurs Uranium Naturel Graphite Gaz génèrera en France environ 23 000 tonnes de déchets radioactifs graphités. La gestion appropriée de ces déchets nécessite de déterminer leur inventaire radiologique et de disposer de données fiables sur la localisation et la spéciation des radionucléides (RN). Le 14C a été identifié comme RN d'intérêt pour le stockage en raison de son inventaire initial important et du risque de présence d'une fraction organique mobile dans l'environnement, lors de la phase de stockage. A ce titre, l'objectif de cette thèse CIFRE, réalisée en partenariat avec EDF, est de mettre en œuvre des études expérimentales permettant de simuler et d'évaluer l'impact de la température, de l'irradiation et de la corrosion radiolytique du graphite sur le comportement migratoire en réacteur du 14C et de son précurseur azote. Les données ainsi acquises sont intégrées dans la deuxième partie de ce travail consacrée à l'étude d'un procédé de décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau. La démarche expérimentale consiste à simuler respectivement la présence de 14C et de 14N par implantation ionique de 13C et d'azote (14N ou 15N) dans un graphite de rondin SLA2 vierge. Cette étude montre que dans la gamme de températures du graphite en réacteur (100 - 500°C) et en absence de corrosion radiolytique, le 13C est stable thermiquement quel que soit l'état de structure du graphite. En revanche, les expériences d'irradiation du graphite chauffé à 500°C au contact d'un gaz représentatif du caloporteur radiolysé montrent le rôle synergique joué par les espèces oxydantes et l'endommagement du graphite favorisant la mobilité du 13C par gazéification des surfaces et/ou oxydation sélective du 13C plus faiblement lié. En ce qui concerne l'azote constitutif, il a tout d'abord été démontré que sa concentration en surface atteint plusieurs centaines de ppm (< 500 ppm at.) et décroît en profondeur jusqu'à environ 160 ppm at.. Contrairement au 13C implanté, l'azote implanté migre à 500°C lorsque le graphite est fortement déstructuré (environ 8 dpa) alors qu'il reste stable pour un taux de déstructuration moindre (0,14 dpa). Les expériences montrent également le rôle synergique des excitations électroniques et de la température qui accélèrent le transport de l'azote vers la surface du graphite. Cette migration de l'azote semble se faire sous forme moléculaire d'espèces C-N, C=N voire C N. Après huit heures d'irradiation ces espèces ne sont toutefois pas ou peu relâchées et restent bloquées à la surface. L'étude du procédé de décontamination thermique en présence de vapeur d'eau a nécessité la mise en place d'un dispositif de thermogravimétrie couplé à un générateur de vapeur d'eau ainsi que l'optimisation des paramètres de l'étude. Les influences de la température (700°C et 900°C) et de l'humidité relative (50 % HR et 90 % HR) ont été testées à un débit de gaz humide fixe de 50 mL/min. Dans ces conditions, l'oxydation sélective du carbone implanté a été confirmée

The dismantling of UNGG…

Advisors/Committee Members: Moncoffre, Nathalie (thesis director), Toulhoat, Nelly (thesis director).

Subjects/Keywords: Carbone 14; Graphite nucléaire; Réacteur UNGG; Démantèlement; Déchets nucléaires; Corrosion radiolytique; Décontamination; Carbon 14; Nuclear graphite; UNGG reactors; Dismantling; Nuclear wastes; Radiolytic; Corrosion; 530

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APA (6th Edition):

Silbermann, G. (2013). Effets de la température et de l'irradiation sur le comportement du 14C et de son précurseur 14N dans le graphite nucléaire. Étude de la décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau : Temperature and irradiation effects on the behaviour of 14C and its precursor 14N in nuclear graphite. Study of a decontamination process using steam reforming. (Doctoral Dissertation). Université Claude Bernard – Lyon I. Retrieved from http://www.theses.fr/2013LYO10168

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Silbermann, Gwennaelle. “Effets de la température et de l'irradiation sur le comportement du 14C et de son précurseur 14N dans le graphite nucléaire. Étude de la décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau : Temperature and irradiation effects on the behaviour of 14C and its precursor 14N in nuclear graphite. Study of a decontamination process using steam reforming.” 2013. Doctoral Dissertation, Université Claude Bernard – Lyon I. Accessed October 20, 2019. http://www.theses.fr/2013LYO10168.

MLA Handbook (7th Edition):

Silbermann, Gwennaelle. “Effets de la température et de l'irradiation sur le comportement du 14C et de son précurseur 14N dans le graphite nucléaire. Étude de la décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau : Temperature and irradiation effects on the behaviour of 14C and its precursor 14N in nuclear graphite. Study of a decontamination process using steam reforming.” 2013. Web. 20 Oct 2019.

Vancouver:

Silbermann G. Effets de la température et de l'irradiation sur le comportement du 14C et de son précurseur 14N dans le graphite nucléaire. Étude de la décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau : Temperature and irradiation effects on the behaviour of 14C and its precursor 14N in nuclear graphite. Study of a decontamination process using steam reforming. [Internet] [Doctoral dissertation]. Université Claude Bernard – Lyon I; 2013. [cited 2019 Oct 20]. Available from: http://www.theses.fr/2013LYO10168.

Council of Science Editors:

Silbermann G. Effets de la température et de l'irradiation sur le comportement du 14C et de son précurseur 14N dans le graphite nucléaire. Étude de la décontamination thermique du graphite en présence de vapeur d'eau : Temperature and irradiation effects on the behaviour of 14C and its precursor 14N in nuclear graphite. Study of a decontamination process using steam reforming. [Doctoral Dissertation]. Université Claude Bernard – Lyon I; 2013. Available from: http://www.theses.fr/2013LYO10168


ETH Zürich

3. Jacob, Stefan Alphons Walter. Beschleunigermassenspektrometrie (AMS) von ¹⁴C bei tiefen Energien.

Degree: 2001, ETH Zürich

Subjects/Keywords: BESCHLEUNIGERMASSENSPEKTROMETRIE (GEOLOGIE); KOHLENSTOFF-14-ISOTOP; ACCELERATOR MASS SPECTROMETRY (GEOLOGY); CARBON-14 ISOTOPE; info:eu-repo/classification/ddc/530; Physics

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APA (6th Edition):

Jacob, S. A. W. (2001). Beschleunigermassenspektrometrie (AMS) von ¹⁴C bei tiefen Energien. (Doctoral Dissertation). ETH Zürich. Retrieved from http://hdl.handle.net/20.500.11850/145099

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Jacob, Stefan Alphons Walter. “Beschleunigermassenspektrometrie (AMS) von ¹⁴C bei tiefen Energien.” 2001. Doctoral Dissertation, ETH Zürich. Accessed October 20, 2019. http://hdl.handle.net/20.500.11850/145099.

MLA Handbook (7th Edition):

Jacob, Stefan Alphons Walter. “Beschleunigermassenspektrometrie (AMS) von ¹⁴C bei tiefen Energien.” 2001. Web. 20 Oct 2019.

Vancouver:

Jacob SAW. Beschleunigermassenspektrometrie (AMS) von ¹⁴C bei tiefen Energien. [Internet] [Doctoral dissertation]. ETH Zürich; 2001. [cited 2019 Oct 20]. Available from: http://hdl.handle.net/20.500.11850/145099.

Council of Science Editors:

Jacob SAW. Beschleunigermassenspektrometrie (AMS) von ¹⁴C bei tiefen Energien. [Doctoral Dissertation]. ETH Zürich; 2001. Available from: http://hdl.handle.net/20.500.11850/145099

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