Advanced search options

Advanced Search Options 🞨

Browse by author name (“Author name starts with…”).

Find ETDs with:

in
/  
in
/  
in
/  
in

Written in Published in Earliest date Latest date

Sorted by

Results per page:

You searched for subject:( zmiany strukturalne). One record found.

Search Limiters

Last 2 Years | English Only

No search limiters apply to these results.

▼ Search Limiters


Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu

1. Michałowski, Paweł Piotr. Dyfuzja i zmiany strukturalne w cienkich warstwach Al(1-x)Si(x)O(y); badane przy pomocy metody Spektroskopii Mas Jonów Wtórnych wyposażonej w analizator czasu przelotu .

Degree: 2015, Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu

Celem pracy jest jakościowe i ilościowe opisanie procesów, które zachodzą w cienkich warstwach tlenku aluminium oraz materiałów kompozytowych Al(1-x)Si(x)O(y) podczas obróbki termicznej. Próbki wytworzono na warstwach krzemowych z naturalnym tlenkiem lub dodatkową warstwą azotku krzemu przy pomocy metody Atomic Layer Deposition (ALD) i poddano wygrzewaniu w szerokim zakresie temperatur (650 - 1100˚C). Zidentyfikowano i scharakteryzowano wiele procesów, mianowicie krystalizację, kurczenie, gęstnienie oraz dyfuzję krzemu z substratu wzdłuż granic ziaren polikrystalicznych. Energia aktywacji dyfuzji zależy od ilości krzemu w materiale kompozytowym i zmienia się zgodnie z następującymi wzorami Ea=0.8-0.51x eV dla próbek amorficznych oraz Ea=2.64+1.65x eV i Ea=3.10-0.53x eV dla próbek krystalicznych wytworzonych odpowiednio na naturalnym tlenku oraz na dodatkowej warstwie azotku krzemu. Wykazano, że naturalna warstwa tlenku posiada silną tendencję do reakcji z cienką warstwą w wyniku której powstaje warstwa przejściowa, która utrudnia dalszą dyfuzję. Prawdziwość wyznaczonego modelu dyfuzji została dodatkowo potwierdzona badaniami dielektrycznymi. Ponadto wykazano, że zastosowana metoda badawcza, Spektroskopia Mas Jonów Wtórnych wyposażona w analizator czasu przelotu może być wykorzystywania jako wiodąca metoda przy badaniu cienkich warstw. Advisors/Committee Members: Wiesner, Maciej. Promotor (advisor).

Subjects/Keywords: ToF-SIMS; cienkie warstwy; thin films; dyfuzja; diffusion; zmiany strukturalne; structural changes; tlenek aluminium; aluminum oxide

Record DetailsSimilar RecordsGoogle PlusoneFacebookTwitterCiteULikeMendeleyreddit

APA · Chicago · MLA · Vancouver · CSE | Export to Zotero / EndNote / Reference Manager

APA (6th Edition):

Michałowski, P. P. (2015). Dyfuzja i zmiany strukturalne w cienkich warstwach Al(1-x)Si(x)O(y); badane przy pomocy metody Spektroskopii Mas Jonów Wtórnych wyposażonej w analizator czasu przelotu . (Doctoral Dissertation). Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu. Retrieved from http://hdl.handle.net/10593/12673

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Michałowski, Paweł Piotr. “Dyfuzja i zmiany strukturalne w cienkich warstwach Al(1-x)Si(x)O(y); badane przy pomocy metody Spektroskopii Mas Jonów Wtórnych wyposażonej w analizator czasu przelotu .” 2015. Doctoral Dissertation, Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu. Accessed December 13, 2019. http://hdl.handle.net/10593/12673.

MLA Handbook (7th Edition):

Michałowski, Paweł Piotr. “Dyfuzja i zmiany strukturalne w cienkich warstwach Al(1-x)Si(x)O(y); badane przy pomocy metody Spektroskopii Mas Jonów Wtórnych wyposażonej w analizator czasu przelotu .” 2015. Web. 13 Dec 2019.

Vancouver:

Michałowski PP. Dyfuzja i zmiany strukturalne w cienkich warstwach Al(1-x)Si(x)O(y); badane przy pomocy metody Spektroskopii Mas Jonów Wtórnych wyposażonej w analizator czasu przelotu . [Internet] [Doctoral dissertation]. Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu; 2015. [cited 2019 Dec 13]. Available from: http://hdl.handle.net/10593/12673.

Council of Science Editors:

Michałowski PP. Dyfuzja i zmiany strukturalne w cienkich warstwach Al(1-x)Si(x)O(y); badane przy pomocy metody Spektroskopii Mas Jonów Wtórnych wyposażonej w analizator czasu przelotu . [Doctoral Dissertation]. Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu; 2015. Available from: http://hdl.handle.net/10593/12673

.