Advanced search options

Advanced Search Options 🞨

Browse by author name (“Author name starts with…”).

Find ETDs with:

in
/  
in
/  
in
/  
in

Written in Published in Earliest date Latest date

Sorted by

Results per page:

You searched for subject:( micromembrane). One record found.

Search Limiters

Last 2 Years | English Only

No search limiters apply to these results.

▼ Search Limiters


Brno University of Technology

1. Šalomoun, Vojtěch. Pokročilé techniky mikroobrábění .

Degree: 2014, Brno University of Technology

Výroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.; Fabrication of micro-electro-mechanical systems (MEMS) requires advanced level of miniaturization, which is not achievable by technology used in microeletronics. Socalled micromachining covers many unique techniques of material processing to get microstructures with possible dimensions below 1 m. This bachelor’s thesis gives a general introduce to micromachining of MEMS. Its focus is on bulk and surface micromachining by wet and dry etching. The practical part contains design of microstructures, their manufacturing process and creation of computer models in CoventorWare suite. Advisors/Committee Members: Pekárek, Jan (advisor).

Subjects/Keywords: mikroobrábění; objemové; povrchové; křemík; XeF2; BOE; leptání; mikroelektromechanické systémy; MEMS; mikronosník; mikromůstek; mikromembrána; micromachining; bulk; surface; silicon; XeF2; BOE etching; microelectromechanical systems; MEMS; microcantilever; microbridge; micromembrane

Record DetailsSimilar RecordsGoogle PlusoneFacebookTwitterCiteULikeMendeleyreddit

APA · Chicago · MLA · Vancouver · CSE | Export to Zotero / EndNote / Reference Manager

APA (6th Edition):

Šalomoun, V. (2014). Pokročilé techniky mikroobrábění . (Thesis). Brno University of Technology. Retrieved from http://hdl.handle.net/11012/34462

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Šalomoun, Vojtěch. “Pokročilé techniky mikroobrábění .” 2014. Thesis, Brno University of Technology. Accessed January 24, 2020. http://hdl.handle.net/11012/34462.

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

MLA Handbook (7th Edition):

Šalomoun, Vojtěch. “Pokročilé techniky mikroobrábění .” 2014. Web. 24 Jan 2020.

Vancouver:

Šalomoun V. Pokročilé techniky mikroobrábění . [Internet] [Thesis]. Brno University of Technology; 2014. [cited 2020 Jan 24]. Available from: http://hdl.handle.net/11012/34462.

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

Council of Science Editors:

Šalomoun V. Pokročilé techniky mikroobrábění . [Thesis]. Brno University of Technology; 2014. Available from: http://hdl.handle.net/11012/34462

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

.