Advanced search options

Advanced Search Options 🞨

Browse by author name (“Author name starts with…”).

Find ETDs with:

in
/  
in
/  
in
/  
in

Written in Published in Earliest date Latest date

Sorted by

Results per page:

Sorted by: relevance · author · university · dateNew search

You searched for subject:( BOE etching). Showing records 1 – 2 of 2 total matches.

Search Limiters

Last 2 Years | English Only

No search limiters apply to these results.

▼ Search Limiters


Brno University of Technology

1. Šalomoun, Vojtěch. Pokročilé techniky mikroobrábění .

Degree: 2014, Brno University of Technology

Výroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.; Fabrication of micro-electro-mechanical systems (MEMS) requires advanced level of miniaturization, which is not achievable by technology used in microeletronics. Socalled micromachining covers many unique techniques of material processing to get microstructures with possible dimensions below 1 m. This bachelor’s thesis gives a general introduce to micromachining of MEMS. Its focus is on bulk and surface micromachining by wet and dry etching. The practical part contains design of microstructures, their manufacturing process and creation of computer models in CoventorWare suite. Advisors/Committee Members: Pekárek, Jan (advisor).

Subjects/Keywords: mikroobrábění; objemové; povrchové; křemík; XeF2; BOE; leptání; mikroelektromechanické systémy; MEMS; mikronosník; mikromůstek; mikromembrána; micromachining; bulk; surface; silicon; XeF2; BOE etching; microelectromechanical systems; MEMS; microcantilever; microbridge; micromembrane

Record DetailsSimilar RecordsGoogle PlusoneFacebookTwitterCiteULikeMendeleyreddit

APA · Chicago · MLA · Vancouver · CSE | Export to Zotero / EndNote / Reference Manager

APA (6th Edition):

Šalomoun, V. (2014). Pokročilé techniky mikroobrábění . (Thesis). Brno University of Technology. Retrieved from http://hdl.handle.net/11012/34462

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Šalomoun, Vojtěch. “Pokročilé techniky mikroobrábění .” 2014. Thesis, Brno University of Technology. Accessed January 28, 2020. http://hdl.handle.net/11012/34462.

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

MLA Handbook (7th Edition):

Šalomoun, Vojtěch. “Pokročilé techniky mikroobrábění .” 2014. Web. 28 Jan 2020.

Vancouver:

Šalomoun V. Pokročilé techniky mikroobrábění . [Internet] [Thesis]. Brno University of Technology; 2014. [cited 2020 Jan 28]. Available from: http://hdl.handle.net/11012/34462.

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

Council of Science Editors:

Šalomoun V. Pokročilé techniky mikroobrábění . [Thesis]. Brno University of Technology; 2014. Available from: http://hdl.handle.net/11012/34462

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation


Brno University of Technology

2. Krátký, Stanislav. Technologie leptání křemíku .

Degree: 2012, Brno University of Technology

Tato práce se zabývá technologií mokrého a suchého leptání křemíku. Zkoumá se použití vodného roztoku hydroxidu draselného. V suchých technikách se práce zaměřuje na plazmatické leptání křemíku směsí CF4+O2. U obou leptacích procesů jsou stanoveny důležité parametry leptání, jako je rychlost leptání křemíku, maskovacího materiálu, selektivita leptání, drsnost povrchu a podleptání masky. Řeší se zde i další pomocné a přípravné práce v technologii leptání. Konkrétně jde o vytváření masky v rezistu a v oxidu křemíku, litografii a leptání rezistu za pomoci kyslíkové plazmy.; This thesis deals with the silicon etching technology. It Examines using of water solution of potassium hydroxide. It focuses on plasma etching of silicon using mixture of CF4 and O2 as the dry way of etching. Important parameters of etching like etching rate of silicon and masking materials, etching selectivity, surface roughness and underetching of mask are determined for both ways. Some additional processes has been examined as well, namely creating of mask of resist and silicon dioxide, lithography process and etching of resist using oxygen plasma. Advisors/Committee Members: Matějka, Milan (advisor).

Subjects/Keywords: Leptadlo POL; mokré anizotropní leptání; monokrystalický křemík (100); plazma CF4; plazma O2; suché plazmatické leptání; vodný roztok KOH.; BOE; dry plasma etching; monocrystalline silicon (100); plasma CF4; plasma O2; water solution of KOH; wet anisotropic etching.

Record DetailsSimilar RecordsGoogle PlusoneFacebookTwitterCiteULikeMendeleyreddit

APA · Chicago · MLA · Vancouver · CSE | Export to Zotero / EndNote / Reference Manager

APA (6th Edition):

Krátký, S. (2012). Technologie leptání křemíku . (Thesis). Brno University of Technology. Retrieved from http://hdl.handle.net/11012/13482

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

Chicago Manual of Style (16th Edition):

Krátký, Stanislav. “Technologie leptání křemíku .” 2012. Thesis, Brno University of Technology. Accessed January 28, 2020. http://hdl.handle.net/11012/13482.

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

MLA Handbook (7th Edition):

Krátký, Stanislav. “Technologie leptání křemíku .” 2012. Web. 28 Jan 2020.

Vancouver:

Krátký S. Technologie leptání křemíku . [Internet] [Thesis]. Brno University of Technology; 2012. [cited 2020 Jan 28]. Available from: http://hdl.handle.net/11012/13482.

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

Council of Science Editors:

Krátký S. Technologie leptání křemíku . [Thesis]. Brno University of Technology; 2012. Available from: http://hdl.handle.net/11012/13482

Note: this citation may be lacking information needed for this citation format:
Not specified: Masters Thesis or Doctoral Dissertation

.