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Title Development of Advanced Curling Probe for Reactive Plasma Measurement : 反応性プラズマ計測用先進カーリングプローブの開発; ハンノウセイ プラズマ ケイソクヨウ センシン カーリング プローブ ノ カイハツ
URL
Publication Date
Degree 博士(工学)
University/Publisher Chubu University / 中部大学
Subjects/Keywords Microwave resonator probe, Opto-curling probe, DC Pulsed glow discharge, Surface magnetic confinement
Country of Publication jp
Record ID oai:irdb.nii.ac.jp:0156/00004840
Repository jairo
Date Retrieved
Date Indexed 2017-07-18
Issued Date 2016-03-23 00:00:00

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